程远深，男，1996年2月出生，博士，讲师，2023年毕业于河北工业大学，硕士生导师，以第一作者（通讯作者）发表SCI论文4篇、EI收录会议论文1篇，主研完成省部级课题1项，主持校级课题2项。
一、主要研究方向
微电子技术与材料 人工智能 计算机应用技术
二、主要科研成果（已完成的重要科研项目、发明专利、科研或教学获奖）（不超过10个）
[1]集成电路铜互连阻挡层钴化学机械平坦化机理与关键技术研究,E2019202367，河北省自然科学基金项目，2019-2022，10万元整。
[2]集成电路钴插塞/互连平坦化和界面腐蚀控制机理的研究，KY2024QN20，河北地质大学国家自然科学基金预研项目，2024-2025，1.5万元。
[3]集成电路钴互连化学机械平坦化关键技术研究，BQ2024041，河北地质大学博士科研启动项目，2024-2026，5.0万元。
三、代表性论文及著作
[1]Glycine as an efficient corrosion inhibitor for TiN oxidation environments[J]. ECS Journal of Solid State Science and Technology, 2023, 12: 023012.
[2]Comparison of anionic surfactants dodecylbenzene sulfonic acid and 1,2,4-triazole for inhibition of Co corrosion and study of the mechanism for passivation of the Co surface by dodecylbenzene sulfonic acid[J]. Journal of Molecular Liquids, 2022, 353: 118792.
[3]Study on particle removal during the Co post-CMP cleaning process[J]. Colloids and Surfaces A: Physicochemical and Engineering Aspects, 2021, 627: 127189.
[4]Effect of Potassium Tartrate on Removal Rate Selectivity of Co/TiN/TEOS for Cobalt “Buff Step” Chemical Mechanical Planarization[J]. ECS Journal of Solid State Science and Technology, 2020, 9: 044014.
四、联系方式
Email：1157905281@qq.com
TEL：18822121712
